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GB/T 16880-1997《光掩模缺陷分类和尺寸定义的准则》

Guidelines for photomask defect classification and size definition

GB/T 16880-1997
现行
标准号 GB/T 16880-1997
标准名称 光掩模缺陷分类和尺寸定义的准则
英文名称 Guidelines for photomask defect classification and size definition
发布日期 1997-06-20
实施日期 1998-03-01
标准状态 现行
归口单位 全国半导体设备和材料标准化技术委员会
主管单位 国家标准委
标准类别 基础
国际标准分类号 31.020
中国标准分类号 L97
起草单位 中国科学院微电子中心
起草人
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标准简介

GB/T 16880-1997《光掩模缺陷分类和尺寸定义的准则》标准规定了光掩模缺陷分类和尺寸定义的准则必须具备的国家强制标准，1998-03-01开始实施，起草单位为：中国科学院微电子中心。

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