GB/T 16879-1997
现行
标准简介
GB/T 16879-1997《掩模曝光系统精密度和准确度的表示准则》标准规定了掩模曝光系统精密度和准确度的表示准则必须具备的国家强制标准，1998-03-01开始实施，起草单位为：中国科学院微电子中心。
相关标准
本标准相关标准：
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被引用情况
| 标准号 | 标准名称 | 标准状态 | 实施日期 |
|---|---|---|---|
| GB/T 16878-1997 | 用于集成电路制造技术的检测图形单元规范 | 现行 | 1998-03-01 |
| GB/T 16858-1997 | 采用数据链路协议的会议电视远端摄像机控制规程 | 现行 | 1998-03-01 |
| GB/T 16816-1997 | 点对点数字租用电路上使用的48/56/64kbit/s数据电路终接设备技术要求 | 现行 | 1998-02-01 |
| GB/T 16880-1997 | 光掩模缺陷分类和尺寸定义的准则 | 现行 | 1998-03-01 |
| GB/T 16861-1997 | 感官分析 通过多元分析方法鉴定和选择用于建立感官剖面的描述词 | 现行 | 1998-01-01 |
| GB/T 16863-1997 | 晶体折射率的试验方法 | 现行 | 1997-12-01 |
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