GB/T 16878-1997
现行
标准简介
GB/T 16878-1997《用于集成电路制造技术的检测图形单元规范》标准规定了用于集成电路制造技术的检测图形单元规范必须具备的国家强制标准，1998-03-01开始实施，起草单位为：中国科学院缩微电子中心。
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被引用情况
| 标准号 | 标准名称 | 标准状态 | 实施日期 |
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