YS/T 1059-2015
现行
标准简介及适用范围
YS/T 1059-2015《硅外延用三氯氢硅中总碳的测定 气相色谱法》标准规定了硅外延用三氯氢硅中总碳的测定 气相色谱法必须具备的国家强制标准，2015-10-01开始实施，起草单位为：中锗科技有限公司、昆明冶研新材料股份有限公司、江苏中能硅业科技发展有限公司等。
本标准适用于硅外延用三氯氢硅中总碳含量的测定，测定范围为0.00005%～0.005%。
被引用情况
| 标准号 | 标准名称 | 标准状态 | 实施日期 |
|---|---|---|---|
| YS/T 1053-2015 | 电子薄膜用高纯钴靶材 | 现行 | 2015-10-01 |
| YS/T 1068-2015 | 制备钌靶用钌粉 | 现行 | 2015-10-01 |
| YS/T 1075.1-2015 | 钒铝、钼铝中间合金化学分析方法 第1部分：铁量的测定 1，10-二氮杂菲分光光度法 | 现行 | 2015-10-01 |
| YS/T 1046.5-2015 | 铜渣精矿化学分析方法 第5部分：二氧化硅量的测定 氟硅酸钾滴定法 | 现行 | 2015-10-01 |
| YS/T 1045-2015 | 装饰装潢用铜-钢复合薄板和带材 | 现行 | 2015-10-01 |
| YS/T 14-2015 | 异质外延层和硅多晶层厚度的测量方法 | 现行 | 2015-10-01 |
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