YS/T 14-2015
现行
标准简介及适用范围
YS/T 14-2015《异质外延层和硅多晶层厚度的测量方法》标准规定了异质外延层和硅多晶层厚度的测量方法必须具备的国家强制标准，2015-10-01开始实施，起草单位为：南京国盛电子有限公司、有研新材料股份有限公司、上海晶盟硅材料有限公司。
本标准适用于测量衬底与沉积层之间界面层厚度小于100nm的异质外延层和硅多晶层的厚度，测量范围为1μm～100μm。
被引用情况
| 标准号 | 标准名称 | 标准状态 | 实施日期 |
|---|---|---|---|
| YS/T 1045-2015 | 装饰装潢用铜-钢复合薄板和带材 | 现行 | 2015-10-01 |
| YS/T 1046.5-2015 | 铜渣精矿化学分析方法 第5部分：二氧化硅量的测定 氟硅酸钾滴定法 | 现行 | 2015-10-01 |
| YS/T 1059-2015 | 硅外延用三氯氢硅中总碳的测定 气相色谱法 | 现行 | 2015-10-01 |
| YS/T 569.8-2015 | 铊化学分析方法 第8部分:铟量的测定 结晶紫苯萃取分光光度法 | 现行 | 2015-10-01 |
| YS/T 569.5-2015 | 铊化学分析方法 第5部分:镉量的测定 双硫腙苯萃取分光光度法 | 现行 | 2015-10-01 |
| YS/T 351-2015 | 钛铁矿精矿 | 现行 | 2015-10-01 |
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