YS/T 1068-2015
现行
标准简介及适用范围
YS/T 1068-2015《制备钌靶用钌粉》标准规定了制备钌靶用钌粉必须具备的国家强制标准,2015-10-01开始实施,起草单位为:贵研铂业股份有限公司、有研亿金新材料有限公司、有色金属技术经济研究院。
本标准适用于制备硬盘及集成电路行业钌系溅射靶材用钌粉(以下简称钌粉)。
被引用情况
| 标准号 | 标准名称 | 标准状态 | 实施日期 |
|---|---|---|---|
| YS/T 1075.1-2015 | 钒铝、钼铝中间合金化学分析方法 第1部分:铁量的测定 1,10-二氮杂菲分光光度法 | 现行 | 2015-10-01 |
| YS/T 1091-2015 | 铅膏 | 废止 | 2015-10-01 |
| YS/T 1047.5-2015 | 铜磁铁矿化学分析方法 第5部分:磷量的测定 滴定法 | 现行 | 2015-10-01 |
| YS/T 1053-2015 | 电子薄膜用高纯钴靶材 | 现行 | 2015-10-01 |
| YS/T 1059-2015 | 硅外延用三氯氢硅中总碳的测定 气相色谱法 | 现行 | 2015-10-01 |
| YS/T 1046.5-2015 | 铜渣精矿化学分析方法 第5部分:二氧化硅量的测定 氟硅酸钾滴定法 | 现行 | 2015-10-01 |
用户评价
暂无用户评价。您可以发表对本标准的看法:
专家解读