GB/T 17866-1999
现行
标准号 GB/T 17866-1999
标准名称 掩模缺陷检查系统灵敏度分析所用的特制缺陷掩模和评估测量方法准则
英文名称 Guideline for programmed defect masks and benchmark procedures for sensitivity analysisof mask defect inspection systems
发布日期 1999-09-13
实施日期 2000-06-01
标准状态 现行
归口单位 全国半导体设备和材料标准化技术委员会
主管单位 国家标准委
标准类别 方法
国际标准分类号 31.200
中国标准分类号 L56
起草单位 中国科学院微电子中心
起草人
标准简介
GB/T 17866-1999《掩模缺陷检查系统灵敏度分析所用的特制缺陷掩模和评估测量方法准则》标准规定了掩模缺陷检查系统灵敏度分析所用的特制缺陷掩模和评估测量方法准则必须具备的国家强制标准，2000-06-01开始实施，起草单位为：中国科学院微电子中心。
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