GB/T 17865-1999
现行
标准号 GB/T 17865-1999
标准名称 焦深与最佳聚焦的测量规范
英文名称 Specification for measuring depth of focus and best focus
发布日期 1999-09-13
实施日期 2000-06-01
标准状态 现行
归口单位 全国半导体设备和材料标准化技术委员会
主管单位 国家标准委
标准类别 方法
国际标准分类号 31.200
中国标准分类号 L56
起草单位 中国科学院微电子中心
起草人
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标准简介

GB/T 17865-1999《焦深与最佳聚焦的测量规范》标准规定了焦深与最佳聚焦的测量规范必须具备的国家强制标准,2000-06-01开始实施,起草单位为:中国科学院微电子中心。

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