GB/T 17864-1999
现行
标准简介
GB/T 17864-1999《关键尺寸（CD）计量方法》标准规定了关键尺寸（CD）计量方法必须具备的国家强制标准，2000-06-01开始实施，起草单位为：中国科学院微电子中心。
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被引用情况
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