GB/T 6621-2009
现行
标准简介
GB/T 6621-2009《硅片表面平整度测试方法》标准规定了硅片表面平整度测试方法必须具备的国家强制标准，2010-06-01开始实施，起草单位为：上海合晶硅材料有限公司。
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被引用情况
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