GB/T 6618-2009
现行
标准简介
GB/T 6618-2009《硅片厚度和总厚度变化测试方法》标准规定了硅片厚度和总厚度变化测试方法必须具备的国家强制标准，2010-06-01开始实施，起草单位为：北京有研半导体材料股份有限公司。
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被引用情况
| 标准号 | 标准名称 | 标准状态 | 实施日期 |
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