GB/T 14144-2009
现行
标准简介
GB/T 14144-2009《硅晶体中间隙氧含量径向变化测量方法》标准规定了硅晶体中间隙氧含量径向变化测量方法必须具备的国家强制标准,2010-06-01开始实施,起草单位为:峨嵋半导体材料厂。
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被引用情况
| 标准号 | 标准名称 | 标准状态 | 实施日期 |
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