GB/T 13388-2009
现行
标准号 GB/T 13388-2009
标准名称 硅片参考面结晶学取向X射线测试方法
英文名称 Method for measuring crystallographic orientation of flats on single-crystal silicon slices and wafers by X-ray techniques
发布日期 2009-10-30
实施日期 2010-06-01
标准状态 现行
归口单位 全国半导体设备和材料标准化技术委员会
主管单位 国家标准委
标准类别 方法
国际标准分类号 29.045
中国标准分类号 H80
起草单位 有研半导体材料股份有限公司
起草人 孙燕 、卢立延 、杜娟 、翟富义 、高玉锈
标准简介
GB/T 13388-2009《硅片参考面结晶学取向X射线测试方法》标准规定了硅片参考面结晶学取向X射线测试方法必须具备的国家强制标准，2010-06-01开始实施，起草单位为：有研半导体材料股份有限公司。
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