GB/T 13387-2009
现行
标准简介
GB/T 13387-2009《硅及其他电子材料晶片参考面长度测量方法》标准规定了硅及其他电子材料晶片参考面长度测量方法必须具备的国家强制标准，2010-06-01开始实施，起草单位为：有研半导体材料股份有限公司。
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被引用情况
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