GB/T 24577-2009
现行
标准号 GB/T 24577-2009
标准名称 热解吸气相色谱法测定硅片表面的有机污染物
英文名称 Test methods for analyzing organic contaminants on silicon wafer surfaces by thermal desorption gas chromatography
发布日期 2009-10-30
实施日期 2010-06-01
标准状态 现行
归口单位 全国半导体设备和材料标准化技术委员会
主管单位 国家标准委
标准类别 方法
国际标准分类号 29.045
中国标准分类号 H80
起草单位 信息产业部专用材料质量监督检验中心、中国电子科技集团公司第四十六研究所
起草人 王奕 、褚连青 、李静
标准简介
GB/T 24577-2009《热解吸气相色谱法测定硅片表面的有机污染物》标准规定了热解吸气相色谱法测定硅片表面的有机污染物必须具备的国家强制标准，2010-06-01开始实施，起草单位为：信息产业部专用材料质量监督检验中心、中国电子科技集团公司第四十六研究所。
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