GB/T 24575-2009
现行
标准号 GB/T 24575-2009
标准名称 硅和外延片表面Na、Al、K和Fe的二次离子质谱检测方法
英文名称 Test method for measuring surface sodium,aluminum,potassium,and iron on silicon and epi substrates by secondary ion mass spectrometry
发布日期 2009-10-30
实施日期 2010-06-01
标准状态 现行
归口单位 全国半导体设备和材料标准化技术委员会
主管单位 国家标准委
标准类别 方法
国际标准分类号 29.045
中国标准分类号 H80
起草单位 信息产业部专用材料质量监督检验中心、中国电子科技集团公司第四十六研究所
起草人 何友琴 、马农农 、丁丽
标准简介
GB/T 24575-2009《硅和外延片表面Na、Al、K和Fe的二次离子质谱检测方法》标准规定了硅和外延片表面Na、Al、K和Fe的二次离子质谱检测方法必须具备的国家强制标准，2010-06-01开始实施，起草单位为：信息产业部专用材料质量监督检验中心、中国电子科技集团公司第四十六研究所。
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