GB/T 24580-2009
现行
标准号 GB/T 24580-2009
标准名称 重掺n型硅衬底中硼沾污的二次离子质谱检测方法
英文名称 Test method for measuring boron contamination in heavily doped n-type silicon substrates by secondary ion mass spectrometry
发布日期 2009-10-30
实施日期 2010-06-01
标准状态 现行
归口单位 全国半导体设备和材料标准化技术委员会
主管单位 国家标准委
标准类别 方法
国际标准分类号 29.045
中国标准分类号 H80
起草单位 信息产业部专用材料质量监督检验中心、中国电子科技集团公司第四十六研究所
起草人 马农农 、何友琴 、丁丽
标准简介
GB/T 24580-2009《重掺n型硅衬底中硼沾污的二次离子质谱检测方法》标准规定了重掺n型硅衬底中硼沾污的二次离子质谱检测方法必须具备的国家强制标准，2010-06-01开始实施，起草单位为：信息产业部专用材料质量监督检验中心、中国电子科技集团公司第四十六研究所。
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