SJ/T 11493-2015
废止
标准号 SJ/T 11493-2015
标准名称 硅衬底中氮浓度的二次离子质谱测量方法
发布日期 2015-04-30
实施日期 2015-10-01
归口单位 全国半导体设备和材料标准化技术委员会
主管部门 工业和信息化部
行业分类
标准类别 方法标准
制定/修订 制定
备案号 50550-2015
国际标准分类号
中国标准分类号
代替标准
起草单位 信息产业专用材料质量监督检验中心、工业和信息化部电子工业标准化研究院、苏州晶瑞化学有限公司等
起草人 马农农、何友琴、何秀坤 等
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标准简介及适用范围

SJ/T 11493-2015《硅衬底中氮浓度的二次离子质谱测量方法》标准规定了硅衬底中氮浓度的二次离子质谱测量方法必须具备的国家强制标准,2015-10-01开始实施,起草单位为:信息产业专用材料质量监督检验中心、工业和信息化部电子工业标准化研究院、苏州晶瑞化学有限公司等。

被引用情况

标准号 标准名称 标准状态 实施日期
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