SJ/T 11495-2015
现行
标准号 SJ/T 11495-2015
标准名称 硅中间隙氧的转换因子指南
发布日期 2015-04-30
实施日期 2015-10-01
归口单位 全国半导体设备和材料标准化技术委员会
主管部门 工业和信息化部
行业分类
标准类别 方法标准
制定/修订 制定
备案号 50552-2015
国际标准分类号
中国标准分类号
代替标准
起草单位 信息产业专用材料质量监督检验中心、工业和信息化部电子工业标准化研究院、苏州晶瑞化学有限公司等
起草人 李静、何秀坤、刘兵 等
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标准简介及适用范围

SJ/T 11495-2015《硅中间隙氧的转换因子指南》标准规定了硅中间隙氧的转换因子指南必须具备的国家强制标准,2015-10-01开始实施,起草单位为:信息产业专用材料质量监督检验中心、工业和信息化部电子工业标准化研究院、苏州晶瑞化学有限公司等。

被引用情况

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