SJ/T 11502-2015
废止
标准号 SJ/T 11502-2015
标准名称 碳化硅单晶抛光片规范
发布日期 2015-04-30
实施日期 2015-10-01
归口单位 全国半导体设备和材料标准化技术委员会
主管部门 工业和信息化部
行业分类
标准类别 产品标准
制定/修订 制定
备案号 66937-2019
国际标准分类号
中国标准分类号
代替标准
起草单位 中国电子科技集团公司第四十六研究所、北京天科合达蓝光半导体有限公司、工业和信息化部电子工业标准化研究院等
起草人 丁丽、郑红军、蔺娴 等
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标准简介及适用范围

SJ/T 11502-2015《碳化硅单晶抛光片规范》标准规定了碳化硅单晶抛光片规范必须具备的国家强制标准,2015-10-01开始实施,起草单位为:中国电子科技集团公司第四十六研究所、北京天科合达蓝光半导体有限公司、工业和信息化部电子工业标准化研究院等。

被引用情况

标准号 标准名称 标准状态 实施日期
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