GB/T 16527-1996
现行
标准简介
GB/T 16527-1996《硬面感光板中光致抗蚀剂和电子束抗蚀剂规范》标准规定了硬面感光板中光致抗蚀剂和电子束抗蚀剂规范必须具备的国家强制标准，1997-05-01开始实施，起草单位为：长沙韶光微电子总公司。
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被引用情况
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