GB/T 16523-1996
现行
标准简介
GB/T 16523-1996《圆形石英玻璃光掩模基板规范》标准规定了圆形石英玻璃光掩模基板规范必须具备的国家强制标准,1997-05-01开始实施,起草单位为:长沙韶光微电子总公司。
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被引用情况
| 标准号 | 标准名称 | 标准状态 | 实施日期 |
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| GB/T 16527-1996 | 硬面感光板中光致抗蚀剂和电子束抗蚀剂规范 | 现行 | 1997-05-01 |
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