GB/T 16523-1996
现行
标准号 GB/T 16523-1996
标准名称 圆形石英玻璃光掩模基板规范
英文名称 Specification for round quartz photomask substrates
发布日期 1996-09-09
实施日期 1997-05-01
标准状态 现行
归口单位 全国半导体设备和材料标准化技术委员会
主管单位 国家标准委
标准类别 产品
国际标准分类号 31.200
中国标准分类号 L90
起草单位 长沙韶光微电子总公司
起草人
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标准简介

GB/T 16523-1996《圆形石英玻璃光掩模基板规范》标准规定了圆形石英玻璃光掩模基板规范必须具备的国家强制标准,1997-05-01开始实施,起草单位为:长沙韶光微电子总公司。

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