GB/T 15871-1995
现行
标准号 GB/T 15871-1995
标准名称 硬面光掩模基板
英文名称 Hard surface photomask substrates
发布日期 1995-12-22
实施日期 1996-08-01
标准状态 现行
归口单位 全国半导体设备和材料标准化技术委员会
主管单位 国家标准委
标准类别 产品
国际标准分类号 31.030
中国标准分类号 L97
起草单位 长沙韶光微电子总公司
起草人
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标准简介

GB/T 15871-1995《硬面光掩模基板》标准规定了硬面光掩模基板必须具备的国家强制标准,1996-08-01开始实施,起草单位为:长沙韶光微电子总公司。

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