GB/T 15873-1995
现行
标准简介
GB/T 15873-1995《半导体设施接口技术文件编写导则》标准规定了半导体设施接口技术文件编写导则必须具备的国家强制标准，1996-08-01开始实施，起草单位为：中国华晶电子集团公司。
相关标准
本标准相关标准：
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被引用情况
| 标准号 | 标准名称 | 标准状态 | 实施日期 |
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| GB/T 15870-1995 | 硬面光掩模用铬薄膜 | 现行 | 1996-08-01 |
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