YS/T 1031-2025
现行
标准号 YS/T 1031-2025
标准名称 化学气相沉积炉
发布日期 2025-08-19
实施日期 2026-03-01
归口单位
主管部门 工业和信息化部
行业分类 制造业
标准类别 产品标准
制定/修订 修订
备案号 103191-2025
国际标准分类号
中国标准分类号
代替标准 YS/T 1031-2015
起草单位
起草人
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标准简介及适用范围

YS/T 1031-2025《化学气相沉积炉》标准规定了化学气相沉积炉必须具备的国家强制标准,2026-03-01开始实施,起草单位为:。

本文件规定了化学气相沉积炉的结构型式与组成、技术要求、试验方法、检验规则和技术分级、标志、包装、运输、贮存及随行文件和订货单内容。本文件适用于制备金属及金属合金材料、金属复合材料、碳及碳化硅材料、无机材料等的化学气相沉积炉

被引用情况

标准号 标准名称 标准状态 实施日期
YS/T 677-2025 锰酸锂 现行 2026-03-01
YS/T 798-2025 镍钴锰酸锂 现行 2026-03-01
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