YS/T 1740-2025
现行
标准号 YS/T 1740-2025
标准名称 电子级三氯氢硅的化学气相沉积评价方法
发布日期 2025-04-10
实施日期 2025-11-01
归口单位
主管部门 工业和信息化部
行业分类 制造业
标准类别 方法标准
制定/修订 制定
备案号 100691-2025
国际标准分类号
中国标准分类号
代替标准
起草单位
起草人
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标准简介及适用范围

YS/T 1740-2025《电子级三氯氢硅的化学气相沉积评价方法》标准规定了电子级三氯氢硅的化学气相沉积评价方法必须具备的国家强制标准,2025-11-01开始实施,起草单位为:。

适用于硅多晶生产和硅外延用电子级三氯氢硅的质量评价。

被引用情况

标准号 标准名称 标准状态 实施日期
YS/T 1741-2025 硅多晶还原炉用氮化硅制品 现行 2025-11-01
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