YS/T 1164-2016
现行
标准简介及适用范围
YS/T 1164-2016《硅材料用高纯石英制品中杂质含量的测定 电感耦合等离子体发射光谱法》标准规定了硅材料用高纯石英制品中杂质含量的测定 电感耦合等离子体发射光谱法必须具备的国家强制标准，2017-01-01开始实施，起草单位为：。
被引用情况
| 标准号 | 标准名称 | 标准状态 | 实施日期 |
|---|---|---|---|
| YS/T 1165-2016 | 高纯四氯化锗中铜、锰、铬、钴、镍、钒、锌、铅、铁、镁、铟和砷的测定 电感耦合等离子体质谱法 | 现行 | 2017-01-01 |
| YS/T 1166-2016 | 高纯四氯化锗红外透过率的测定方法 | 现行 | 2017-01-01 |
| YS/T 1167-2016 | 硅单晶腐蚀片 | 现行 | 2017-01-01 |
| YS/T 1163-2016 | 粗铟 | 现行 | 2017-01-01 |
| YS/T 1162-2016 | 铟条 | 现行 | 2017-01-01 |
| YS/T 26-2016 | 硅片边缘轮廓检验方法 | 现行 | 2017-01-01 |
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