YS/T 1031-2015
现行
标准简介及适用范围
YS/T 1031-2015《化学气相沉积炉》标准规定了化学气相沉积炉必须具备的国家强制标准，2015-10-01开始实施，起草单位为：湖南顶立科技有限公司、中国有色金属工业标准计量质量研究所等。
本标准适用于化学气相沉积。
被引用情况
| 标准号 | 标准名称 | 标准状态 | 实施日期 |
|---|---|---|---|
| YS/T 569.3-2015 | 铊化学分析方法 第3部分:汞量的测定 双硫腙四氯化碳萃取分光光度法 | 现行 | 2015-10-01 |
| YS/T 231-2015 | 钨精矿 | 现行 | 2015-10-01 |
| YS/T 1038-2015 | 电机换向器用铜及铜合金梯形型材 | 废止 | 2015-10-01 |
| YS/T 1028.1-2015 | 磷酸铁锂化学分析方法 第1部分：总铁量的测定 三氯化钛还原重铬酸钾滴定法 | 现行 | 2015-10-01 |
| YS/T 1065.1-2015 | 沸石物理性能测定方法 第1部分：钙交换能力的测定 EDTA滴定法 | 现行 | 2015-10-01 |
| YS/T 13-2015 | 高纯四氯化锗 | 现行 | 2015-10-01 |
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