YS/T 1025-2015
现行
标准号 YS/T 1025-2015
标准名称 电子薄膜用高纯钨及钨合金溅射靶材
发布日期 2015-04-30
实施日期 2015-10-01
归口单位 全国有色金属标准化技术委员会
主管部门 工业和信息化部
行业分类 制造业
标准类别 产品标准
制定/修订 制定
备案号 50323-2015
国际标准分类号
中国标准分类号
代替标准
起草单位 宁波江丰电子材料股份有限公司、有研亿金新材料有限公司、北京天龙钨钼科技股份有限公司等
起草人 姚力军、王学泽、丁照崇等
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标准简介及适用范围

YS/T 1025-2015《电子薄膜用高纯钨及钨合金溅射靶材》标准规定了电子薄膜用高纯钨及钨合金溅射靶材必须具备的国家强制标准,2015-10-01开始实施,起草单位为:宁波江丰电子材料股份有限公司、有研亿金新材料有限公司、北京天龙钨钼科技股份有限公司等。

本标准适用于电子薄膜用高纯钨及钨合金溅射靶材,以下简称高纯钨及钨合金靶。

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