YS/T 28-2015
废止
标准号 YS/T 28-2015
标准名称 硅片包装
发布日期 2015-04-30
实施日期 2015-10-01
归口单位 全国有色金属标准化技术委员会
主管部门 工业和信息化部
行业分类 制造业
标准类别 基础标准
制定/修订 修订
备案号 50405-2015
国际标准分类号
中国标准分类号
代替标准 YS/T 28-1992
起草单位 杭州海纳半导体有限公司、有研新材料股份有限公司、南京国盛电子有限公司等
起草人 王飞尧、孙燕、马林宝等
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标准简介及适用范围

YS/T 28-2015《硅片包装》标准规定了硅片包装必须具备的国家强制标准,2015-10-01开始实施,起草单位为:杭州海纳半导体有限公司、有研新材料股份有限公司、南京国盛电子有限公司等。

本标准适用于硅单晶抛光片、外延片、SOI等硅片的洁净包装、硅单晶研磨片(简称硅研磨片)包装和太阳能电池用硅片包装,使其在运输、贮存过程中避免再次沾污和破碎。

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