YS/T 15-2015《硅外延层和扩散层厚度测定 磨角染色法》标准规定了硅外延层和扩散层厚度测定 磨角染色法必须具备的国家强制标准，2015-10-01开始实施，起草单位为：南京国盛电子有限公司、有研新材料股份有限公司、上海晶盟硅材料有限公司。

本标准适用于外延层和扩散层与衬底导电类型不同或两层电阻率相差至少一个数量级的任意电阻率的硅外延层和扩散层厚度的测量，测量范围：1μm～100μm。