YS/T 1060-2015《硅外延用三氯氢硅中其他氯硅烷含量的测定 气相色谱法》标准规定了硅外延用三氯氢硅中其他氯硅烷含量的测定 气相色谱法必须具备的国家强制标准，2015-10-01开始实施，起草单位为：中锗科技有限公司、江苏中能硅业科技发展有限公司、昆明冶研新材料股份有限公司。

本标准适用于硅外延用三氯氢硅中其他氯硅烷（包括二氯二氢硅、四氯化硅）含量的测定。测定下限为0.002%。