YS/T 839-2012
现行
标准号 YS/T 839-2012
标准名称 硅衬底上绝缘体薄膜厚度及折射率的椭圆偏振测试方法
发布日期 2012-11-07
实施日期 2013-03-01
归口单位 全国有色金属标准化中心
主管部门 工业和信息化部
行业分类
标准类别
制定/修订 制定
备案号 38133-2013
国际标准分类号
中国标准分类号
代替标准
起草单位 中国计量科学研究院、有研半导体材料股份有限公司等股份有限公司
起草人 高英、武斌 等
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标准简介及适用范围

YS/T 839-2012《硅衬底上绝缘体薄膜厚度及折射率的椭圆偏振测试方法》标准规定了硅衬底上绝缘体薄膜厚度及折射率的椭圆偏振测试方法必须具备的国家强制标准,2013-03-01开始实施,起草单位为:中国计量科学研究院、有研半导体材料股份有限公司等股份有限公司。

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