YS/T 839-2012
现行
标准简介及适用范围
YS/T 839-2012《硅衬底上绝缘体薄膜厚度及折射率的椭圆偏振测试方法》标准规定了硅衬底上绝缘体薄膜厚度及折射率的椭圆偏振测试方法必须具备的国家强制标准,2013-03-01开始实施,起草单位为:中国计量科学研究院、有研半导体材料股份有限公司等股份有限公司。
被引用情况
| 标准号 | 标准名称 | 标准状态 | 实施日期 |
|---|---|---|---|
| YS/T 820.16-2012 | 红土镍矿化学分析方法 第16部分:碳和硫量的测定 高频燃烧红外吸收光谱法 | 现行 | 2013-03-01 |
| YS/T 834-2012 | 废铂重整催化剂烧失率的测定方法 | 现行 | 2013-03-01 |
| YS/T 830-2012 | 正丁基锂 | 现行 | 2013-03-01 |
| YS/T 820.23-2012 | 红土镍矿化学分析方法 第23部分: 钴、铁、镍、磷、氧化铝、氧化钙、氧化铬、氧化镁、氧化锰、二氧化硅和二氧化钛量的测定 波长色散X射线荧光光谱法 | 现行 | 2013-03-01 |
| YS/T 820.18-2012 | 红土镍矿化学分析方法 第18部分:汞量的测定 冷原子吸收光谱法 | 现行 | 2013-03-01 |
| YS/T 820.13-2012 | 红土镍矿化学分析方法 第13部分:铅量的测定 火焰原子吸收光谱法 | 现行 | 2013-03-01 |
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