YS/T 26-1992
废止
标准简介及适用范围
YS/T 26-1992《硅片边缘轮廓检验方法》标准规定了硅片边缘轮廓检验方法必须具备的国家强制标准，1993-01-01开始实施，起草单位为：。
被引用情况
| 标准号 | 标准名称 | 标准状态 | 实施日期 |
|---|---|---|---|
| YS/T 28-1992 | 硅片包装 | 废止 | 1993-01-01 |
| YS/T 34.1-1992 | 高纯砷化学分析方法 孔雀绿分光光度法测定锑量 | 废止 | 1993-01-01 |
| YS/T 34.2-1992 | 高纯砷化学分析方法 化学光谱法测定钴、锌、银、铜、钙、铝、镍、铬、铅、镁、铁量 | 废止 | 1993-01-01 |
| YS/T 24-1992 | 外延钉缺陷的检验方法 | 废止 | 1993-01-01 |
| YS/T 23-1992 | 硅外延层厚度测定堆垛层错尺寸法 | 废止 | 1993-01-01 |
| YS 41-1992 | 铍片 | 现行 | 1993-03-01 |
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