SJ/T 11451-2022
现行
标准号 SJ/T 11451-2022
标准名称 扩散炉能源消耗规范
发布日期 2022-10-20
实施日期 2023-01-01
归口单位 中国电子技术标准化研究院
主管部门 工业和信息化部
行业分类 无
标准类别 方法标准
制定/修订 修订
备案号 89619-2023
国际标准分类号
中国标准分类号
代替标准 SJ/T 11451—2013
起草单位 北京北方华创微电子装备有限公司、中国电子技术标准化研究院、晶澳太阳能科技股份有限公司、株洲中车时代半导体有限公司、英利能源（中国）有限公司、北京赛西认证有限责任公司
起草人 李补忠、吴秀祥、孙朋涛、张颖、郝晓明、赵永猛、刘月雷、张红妹、张生春、李琳
标准简介及适用范围
SJ/T 11451-2022《扩散炉能源消耗规范》标准规定了扩散炉能源消耗规范必须具备的国家强制标准，2023-01-01开始实施，起草单位为：北京北方华创微电子装备有限公司、中国电子技术标准化研究院、晶澳太阳能科技股份有限公司、株洲中车时代半导体有限公司、英利能源（中国）有限公司、北京赛西认证有限责任公司。
适用于工作温度在400 ℃～1 350 ℃的扩散/氧化、退火、合金工艺使用的扩散炉
被引用情况
| 标准号 | 标准名称 | 标准状态 | 实施日期 |
|---|---|---|---|
| SJ/T 11877-2022 | 打印机及多功能一体机制造业绿色工厂评价要求 | 现行 | 2023-01-01 |
| SJ/T 11878-2022 | 电视机制造业绿色工厂评价要求 | 现行 | 2023-01-01 |
| SJ/T 11879-2022 | 电子信息制造业绿色园区评价要求 | 现行 | 2023-01-01 |
| SJ/T 11820-2022 | 半导体分立器件直流参数测试设备技术要求和测量方法 | 现行 | 2023-01-01 |
| SJ/T 11835-2022 | 客车用数字电视接收机技术规范 | 现行 | 2023-01-01 |
| SJ/T 11272-2022 | 车载彩色显示器通用规范 | 现行 | 2023-01-01 |
用户评价
暂无用户评价。您可以发表对本标准的看法：
专家解读