SJ/T 11883-2022
现行
标准号 SJ/T 11883-2022
标准名称 扩散炉热平衡和热效率及综合能耗的计算方法
发布日期 2022-10-20
实施日期 2023-01-01
归口单位 中国电子技术标准化研究院
主管部门 工业和信息化部
行业分类
标准类别 方法标准
制定/修订 制定
备案号 89626-2023
国际标准分类号
中国标准分类号
代替标准
起草单位 中国电子技术标准化研究院、北京北方华创微电子装备有限公司、北京赛西认证有限责任公司、深圳赛西信息技术有限公司、青海大学、中国科学院电工研究所
起草人 张生春、赵立华、程朝阳、吴秀祥、李梦辰、麻林瑞、李兴、冀晓洲、李春琦、杨立娜
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标准简介及适用范围

SJ/T 11883-2022《扩散炉热平衡和热效率及综合能耗的计算方法》标准规定了扩散炉热平衡和热效率及综合能耗的计算方法必须具备的国家强制标准,2023-01-01开始实施,起草单位为:中国电子技术标准化研究院、北京北方华创微电子装备有限公司、北京赛西认证有限责任公司、深圳赛西信息技术有限公司、青海大学、中国科学院电工研究所。

适用于扩散炉热平衡、热效率及综合能耗的计算。对于其他类型的电阻炉热平衡、热效率及综合能耗的计算可参考本文件

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