SJ/T 11576-2016
现行
标准号 SJ/T 11576-2016
标准名称 喷雾式涂覆设备通用规范
发布日期 2016-01-15
实施日期 2016-06-01
归口单位 全国半导体设备和材料标准化技术委员会
主管部门 工业和信息化部
行业分类
标准类别 产品标准
制定/修订 制定
备案号 54855-2016
国际标准分类号
中国标准分类号
代替标准
起草单位 沈阳芯源微电子设备有限公司、工业和信息化部电子工业标准化研究院
起草人 贺立波、徐春旭、汪明波 等
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标准简介及适用范围

SJ/T 11576-2016《喷雾式涂覆设备通用规范》标准规定了喷雾式涂覆设备通用规范必须具备的国家强制标准,2016-06-01开始实施,起草单位为:沈阳芯源微电子设备有限公司、工业和信息化部电子工业标准化研究院。

被引用情况

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