SJ/T 11503-2015
现行
标准号 SJ/T 11503-2015
标准名称 碳化硅单晶抛光片表面粗糙度的测试方法
发布日期 2015-04-30
实施日期 2015-10-01
归口单位 全国半导体设备和材料标准化技术委员会
主管部门 工业和信息化部
行业分类
标准类别 方法标准
制定/修订 制定
备案号 50560-2015
国际标准分类号
中国标准分类号
代替标准
起草单位 中国电子科技集团公司第四十六研究所、北京天科合达蓝光半导体有限公司、工业和信息化部电子工业标准化研究院
起草人 丁丽、何友琴、郑红军 等
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标准简介及适用范围

SJ/T 11503-2015《碳化硅单晶抛光片表面粗糙度的测试方法》标准规定了碳化硅单晶抛光片表面粗糙度的测试方法必须具备的国家强制标准,2015-10-01开始实施,起草单位为:中国电子科技集团公司第四十六研究所、北京天科合达蓝光半导体有限公司、工业和信息化部电子工业标准化研究院。

被引用情况

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