SJ/T 10627-1995
现行
标准号 SJ/T 10627-1995
标准名称 通过测量间隙氧含量的减少表征硅片氧沉淀特性的方法
发布日期 1995-04-22
实施日期 1995-10-01
归口单位
主管部门 电子工业部
行业分类
标准类别
制定/修订 制定
备案号 0044-1995
国际标准分类号
中国标准分类号
代替标准
起草单位
起草人
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标准简介及适用范围

SJ/T 10627-1995《通过测量间隙氧含量的减少表征硅片氧沉淀特性的方法》标准规定了通过测量间隙氧含量的减少表征硅片氧沉淀特性的方法必须具备的国家强制标准,1995-10-01开始实施,起草单位为:。

被引用情况

标准号 标准名称 标准状态 实施日期
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