SJ/T 10478-1994
现行
标准号 SJ/T 10478-1994
标准名称 磁控溅射设备通用技术条件
发布日期 1994-04-11
实施日期 1994-10-01
归口单位
主管部门 电子工业部
行业分类
标准类别
制定/修订 制定
备案号 0062-1994
国际标准分类号
中国标准分类号
代替标准
起草单位
起草人
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标准简介及适用范围

SJ/T 10478-1994《磁控溅射设备通用技术条件》标准规定了磁控溅射设备通用技术条件必须具备的国家强制标准,1994-10-01开始实施,起草单位为:。

被引用情况

标准号 标准名称 标准状态 实施日期
SJ/T 10500-1994 CH1型印制电路插头座 现行 1994-10-01
SJ/T 10519.19-1994 塑料注射模零件 通用浇口套 废止 1994-10-01
SJ/T 10519.26-1994 塑料注射模零件 挡圈 废止 1994-10-01
SJ/T 10489-1994 KN3型钮子开关 现行 1994-10-01
SJ/T 10475-1994 录像机用加载电动机总规范 现行 1994-10-01
SJ/T 10519.25-1994 塑料注射模零件 定位止动螺钉 废止 1994-10-01

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