SJ/T 10312-1992
现行
标准号 SJ/T 10312-1992
标准名称 电子束暴光机通用技术条件
发布日期 1992-06-15
实施日期 1992-12-01
归口单位
主管部门 电子工业部
行业分类
标准类别
制定/修订 制定
备案号 0006-1993
国际标准分类号
中国标准分类号
代替标准
起草单位
起草人
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标准简介及适用范围

SJ/T 10312-1992《电子束暴光机通用技术条件》标准规定了电子束暴光机通用技术条件必须具备的国家强制标准,1992-12-01开始实施,起草单位为:。

被引用情况

标准号 标准名称 标准状态 实施日期
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