SJ/T 10152-1991
废止
标准简介及适用范围
SJ/T 10152-1991《集成电路主要工艺设备术语》标准规定了集成电路主要工艺设备术语必须具备的国家强制标准，1991-07-01开始实施，起草单位为：。
被引用情况
| 标准号 | 标准名称 | 标准状态 | 实施日期 |
|---|---|---|---|
| SJ/T 10168.3-1991 | 真空开关管用异型制品:3.铜铋银合金 | 废止 | 1991-07-01 |
| SJ/T 10168.4-1991 | 真空开关管用异型制品:4.碳化钨铜合金 | 废止 | 1991-07-01 |
| SJ/T 10040-1991 | 半导体集体成电路CMOS4000系列数据选择器 | 现行 | 1991-07-01 |
| SJ/T 10138-1991 | PS型锌空气电池 | 废止 | 1991-07-01 |
| SJ/T 10168.2-1991 | 真空开关管用异型制品:2.冲制铜圆片 | 废止 | 1991-07-01 |
| SJ/T 10168.1-1991 | 真空开关管用异型制品:1.钨铜合金 | 废止 | 1991-07-01 |
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