JC/T 2133-2012
现行
标准号 JC/T 2133-2012
标准名称 半导体抛光液用硅溶胶中杂质元素含量的测定 电感耦合等离子体原子发射光谱法
发布日期 2012-12-28
实施日期 2013-06-01
归口单位 全国工业陶瓷标准化技术委员会
主管部门 工业和信息化部
行业分类
标准类别
制定/修订 制定
备案号 38976-2013
国际标准分类号
中国标准分类号
代替标准
起草单位 中国科学院上海硅酸盐研究所
起草人 陈奕睿、屈海云 等
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标准简介及适用范围

JC/T 2133-2012《半导体抛光液用硅溶胶中杂质元素含量的测定 电感耦合等离子体原子发射光谱法》标准规定了半导体抛光液用硅溶胶中杂质元素含量的测定 电感耦合等离子体原子发射光谱法必须具备的国家强制标准,2013-06-01开始实施,起草单位为:中国科学院上海硅酸盐研究所。

被引用情况

标准号 标准名称 标准状态 实施日期
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