GB/T 8758-2006
现行
标准号 GB/T 8758-2006
标准名称 砷化镓外延层厚度红外干涉测量方法
英文名称 Measuring thickness of epitaxial layers of gallium arsenide by infrared interference
发布日期 2006-07-18
实施日期 2006-11-01
标准状态 现行
归口单位 全国半导体设备和材料标准化技术委员会、全国有色金属标准化技术委员会
主管单位 国家标准委
标准类别 方法
国际标准分类号 77.040.01
中国标准分类号 H17
起草单位 北京有色金属研究总院
起草人 王彤涵
标准简介
GB/T 8758-2006《砷化镓外延层厚度红外干涉测量方法》标准规定了砷化镓外延层厚度红外干涉测量方法必须具备的国家强制标准，2006-11-01开始实施，起草单位为：北京有色金属研究总院。
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