GB/T 19922-2005
现行
标准简介
GB/T 19922-2005《硅片局部平整度非接触式标准测试方法》标准规定了硅片局部平整度非接触式标准测试方法必须具备的国家强制标准，2006-04-01开始实施，起草单位为：洛阳单晶硅有限责任公司。
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被引用情况
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