GB/T 18682-2002
现行
标准简介
GB/T 18682-2002《物理气相沉积TiN薄膜技术条件》标准规定了物理气相沉积TiN薄膜技术条件必须具备的国家强制标准，2002-08-01开始实施，起草单位为：武汉材料保护研究所。
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被引用情况
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