GB/T 16524-1996
现行
标准简介
GB/T 16524-1996《光掩模对准标记规范》标准规定了光掩模对准标记规范必须具备的国家强制标准，1997-05-01开始实施，起草单位为：中国科学院微电子中心。
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被引用情况
| 标准号 | 标准名称 | 标准状态 | 实施日期 |
|---|---|---|---|
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