GB/T 14015-1992
现行
标准号 GB/T 14015-1992
标准名称 硅-蓝宝石外延片
英文名称 Silicon on sapphire epitaxial wafers
发布日期 1992-12-28
实施日期 1993-08-01
标准状态 现行
归口单位 全国半导体设备和材料标准化技术委员会
主管单位 国家标准委
标准类别 产品
国际标准分类号
中国标准分类号 L90
起草单位 天津半导体技术研究所
起草人
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标准简介

GB/T 14015-1992《硅-蓝宝石外延片》标准规定了硅-蓝宝石外延片必须具备的国家强制标准,1993-08-01开始实施,起草单位为:天津半导体技术研究所。

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被引用情况

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